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项目赋能丨突破“卡脖子”核心技术,“山东造”硅基中束流离子注入机实现产业化
发布日期:2026-06-25      信息来源:投资济南      访问次数:

6月23日,艾恩半导体自主研发的硅基中束流离子注入机顺利交付国内头部Fab。

这场创新创业突围战胜利的背后,是企业从差异化切入到全面布局的清晰规划。

选对赛道,“三步走”抢抓机遇

艾恩半导体没有一上来就去和国际巨头在硅基主流市场硬碰硬,而是选择以碳化硅离子注入机作为突破口。这个精准的赛道选择,让企业在巨头林立的市场中找到了自己的立足之地。选对赛道只是第一步,速度同样关键。留给初创企业的时间并不长,机遇只有一次,如果抓不住当前机遇,就将面临生死。正是这种“与时间赛跑”的紧迫感,让艾恩半导体跑出了加速度:第一代碳化硅离子注入机已在客户端验证,今年1月推出硅基中束流离子注入机,预计9月推出大束流机型。三年内实现离子注入机所有机型全覆盖,从碳化硅向硅基延伸,从6寸到8寸,再到12寸全面覆盖——这是企业的清晰规划。

面对当前第三代半导体的黄金发展期,艾恩半导体构建自身优势的打法可以概括为“三步走”:第一步,产品矩阵全覆盖,用全系列产品卡位市场;第二步,性能对标国际领先,用硬核指标证明实力;第三步,服务构建护城河,用极致服务黏住客户。

构建优势,扎根本土补链强链

2024年中国离子注入机市场规模已达121.26亿元,国产化率却不足10%。艾恩半导体的设备价格能做到进口同类装备的50%左右,为客户大幅降低资本开支。而在技术上,企业已在长寿命离子源技术上达到国内先进水平,正在研发的第二代碳化硅离子注入机将实现对标国际巨头的性能突破。

国外巨头虽然产品成熟,但服务响应慢、定制化程度低。艾恩半导体能够发挥本土企业的优势,与客户深度绑定,针对特殊工艺做定制化开发。这种“贴身服务+快速响应”的能力,正是其对抗国际巨头的另一张底牌。

当初选择将总部从广州迁到济南,正是看中了这里正在崛起的集成电路产业生态。在济南打造产业高地的进程中,艾恩半导体希望扮演好产业链的“补链者”、上下游的“连接器”、产业集群的“磁石”。让世界看到,高端离子注入机不仅能够‘中国造’,更能够‘山东造’。

强势突围,全谱系向“芯”出发

作为芯片制造的“心脏装备”,离子注入机贯穿从掺杂到性能调控的每一道核心工艺,其技术水平直接影响集成电路的性能上限与制程先进性。此次交付的硅基中束流离子注入机,依托艾恩半导体自主核心技术,主要面向硅基集成电路与硅基MEMS产线,兼顾超高掺杂精度与批量加工效率,能够有效帮助客户降低研发成本、优化生产工艺,提升产品良率,加速技术迭代,尤其适用于MEMS传感器量产线、企业工艺中试线、高校微纳研发平台等场景。

此次交付,是客户对艾恩半导体离子注入机性能、品质把控以及交付能力的高度认可。从关键技术突破到产业化,艾恩半导体始终以客户需求为导向,以技术创新为驱动。未来,艾恩半导体将持续深耕离子注入装备领域,丰富产品谱系,以更加成熟、稳定、可信赖的设备与服务,为中国半导体产业链的自主可控贡献坚实力量。